В DFD процессы представляют собой функции системы, преобразующие входы в выходы. Процессы изображаются прямоугольниками со скругленными углами. Их смысл совпадает с блоком IDEF0 и единицами работы IDEF3. Так же, как и в IDEF3, они имеют входы и выходы, но не поддерживают управление и механизмы.

Каждый процесс должен быть именован глаголом с последующим дополнением. Кроме того, каждый процесс должен иметь уникальный номер.

Физически процесс может быть реализован различными способами: это может быть подразделение организации, выполняющее обработку входных документов и выпуск отчетов, программа, аппаратно реализованное логическое устройство.